石棉31C-311668
- 型號石棉31C-311668
- 密度403 kg/m3
- 長度42955 mm
彭海琳表示，石棉31C-311668冷凍電子斷層掃描技術為在原子/分子尺度上解析各類液相界面反應提供了強大工具。
深入掌握液體中聚合物的結構與微觀行為，石棉31C-311668可推動先進制程中光刻、蝕刻和濕法清洗等關鍵工藝的缺陷控制與良率提升。研究人員最終合成出一張分辨率優(yōu)于5納米的微觀三維全景照片，石棉31C-311668一舉克服了傳統(tǒng)技術無法原位、三維、高分辨率觀測的三大痛點。顯影是光刻的核心步驟之一，石棉31C-311668通過顯影液溶解光刻膠的曝光區(qū)域，將電路圖案精確轉移到硅片上。近日，石棉31C-311668北京大學化學與分子工程學院彭海琳教授團隊及合作者通過冷凍電子斷層掃描技術，石棉31C-311668首次在原位狀態(tài)下解析了光刻膠分子在液相環(huán)境中的微觀三維結構、界面分布與纏結行為，指導開發(fā)出可顯著減少光刻缺陷的產(chǎn)業(yè)化方案。為破解難題，石棉31C-311668研究團隊首次將冷凍電子斷層掃描技術引入半導體領域。長期以來，石棉31C-311668光刻膠在顯影液中的微觀行為是黑匣子，工業(yè)界的工藝優(yōu)化只能靠反復試錯，這成為制約7納米及以下先進制程良率提升的關鍵瓶頸之一公開資料顯示，石棉31C-311668趙國祝，1956年生于北京，知名快板專家，著名快板書大師李潤杰先生的第三代李派再傳弟子，有中國花板第一人和花板大王之稱。
