電動砂輪機63C-633
- 型號電動砂輪機63C-633
- 密度962 kg/m3
- 長度80971 mm
光刻膠如同刻畫電路的顏料，電動砂輪機63C-633它在顯影液中的運動，直接決定電路畫得準不準、好不好，進而影響芯片良率。
電動砂輪機63C-633光刻技術是推動集成電路芯片制程工藝持續(xù)微縮的核心驅(qū)動力之一。彭海琳表示，電動砂輪機63C-633冷凍電子斷層掃描技術為在原子/分子尺度上解析各類液相界面反應提供了強大工具。深入掌握液體中聚合物的結(jié)構與微觀行為，電動砂輪機63C-633可推動先進制程中光刻、蝕刻和濕法清洗等關鍵工藝的缺陷控制與良率提升。研究人員最終合成出一張分辨率優(yōu)于5納米的微觀三維全景照片，電動砂輪機63C-633一舉克服了傳統(tǒng)技術無法原位、三維、高分辨率觀測的三大痛點。顯影是光刻的核心步驟之一，電動砂輪機63C-633通過顯影液溶解光刻膠的曝光區(qū)域，將電路圖案精確轉(zhuǎn)移到硅片上。近日，電動砂輪機63C-633北京大學化學與分子工程學院彭海琳教授團隊及合作者通過冷凍電子斷層掃描技術，電動砂輪機63C-633首次在原位狀態(tài)下解析了光刻膠分子在液相環(huán)境中的微觀三維結(jié)構、界面分布與纏結(jié)行為，指導開發(fā)出可顯著減少光刻缺陷的產(chǎn)業(yè)化方案。為破解難題，電動砂輪機63C-633研究團隊首次將冷凍電子斷層掃描技術引入半導體領域。
